純水在沸騰狀態時具有汽化速度。在常壓下約100℃時純水開始沸騰。而在真空條件下，由于系統中水蒸氣分壓，遠低于物料表面的水蒸氣分壓，水的沸點低于100℃.比如：表面降至-0.07MPa時，水在70℃即開始沸騰。一般規律，真空度越高水的沸點越低。在真空干燥器內，汽化后的水能隨著真空產生迅速排除，所以盡管在較低的溫度下操作，本干燥器仍有較大干燥能力。

水加熱真空干燥箱的最大優點在于溫度精確度高，使用方便，無需其它大型輔助設備，即可獨立使用等優點，其中以溫度控制度高為最優秀的特點。但其溫度范圍使終在100攝氏度內，并不適用于要求溫度超過100攝氏度的其他物料。