本試驗設備適用于半導體行業對其產品及材料無氧銅進行高溫的環境下的固化或檢驗其各項性能指標。

二、技術指標：

產品名稱

20PPM無氧烘箱

產品型號

GW-800L-DZ

內部尺寸mm

800*1000*1000mm（深*寬*高）

外部尺寸mm

約1050*1650*1550mm（深*寬*高）

子母車尺寸mm

650*800*900mm（深*寬*高）

容   積

0.8立方

溫度范圍

                 室溫+15~300℃

溫度波動度

≤±0.5℃

溫度均勻度

≤±1.5%℃

升溫速率

3~5℃/min可調節

O2濃度控制范圍

20ppm、500ppm、2000ppm

O2濃度分辨率

±1ppm

含氧量誤差

0-99PPM之內是10ppm誤差

100-2000PPM之內是3%FS

氮氣流量檢測

0~600L/min（顯示范圍）

氮氣流量調節

0~480L/min

0~100L/min

備注：預期手動調節好，自動根據濃度切換流量

氮氣壓力檢測

-100kpa~100kpa可設定，當腔內內部氮氣正壓力超出預警壓力值自動報警切斷進氣閥門

裝機功率

7.8KW

三、系統配置及技術說明：

1、箱體結構

內箱材質

1.5mm厚度優質SUS304不銹鋼鏡面不變形

外箱材質

1.2mm厚度冷軋鋼板靜電烤漆，顏色9003米白色，堅固、美觀、耐用

外箱溫度

箱體表面溫度≤室溫+10℃

內箱工藝

采用不銹鋼整體滿焊焊接成形，確保在注入惰性氣體狀態下充分循環保護試驗樣品

保溫棉

整機保溫層厚度100mm，超細超陶瓷纖維保溫棉/硅酸鋁板填充

加熱器

瓷片式加熱器，內嵌式加熱元件安裝于不銹鋼腔體夾層中極為安全

風機循環

雙組專用長軸高溫渦輪結構風機，專長軸設計高溫環境下抗溫變能力更優秀

降溫方式

氮氣降溫，程序預設定保溫時間終了降溫泄壓閥自動打開

氣體保護

操作面板設計惰性氣體控制流量計，通過調節流量來控制進氣，自動閥門打開，到達濃度自動關閉保持低氧濃度環境

氮氣接口

箱體底部安裝后10mm口徑自動進氣口，進氣口與控制氮氣流量管路連接。

門封材料

箱門閉合松緊能調節，整體成型日本進口硅橡膠門封圈，確保箱內最小化熱氣泄露

2、測控系統

溫度控制器

采用PLC系統，7寸觸摸屏控制 、具備多組PID加自適應控制可編程100個溫度階梯與升溫與保溫時間、O2濃度保持，運行數據保護與實時查詢

控制器操作界面設中英文可供選擇

傳感器

PT100/K型熱電偶溫度測試傳感器

三色燈報警定義

1、綠色燈點亮為運行正常

2、黃色燈點亮待機狀態

3、紅色燈點亮為異常報警